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X線発生装置 ultraX-18


 装置の起動・停止
   装置の起動
   装置の停止

 X線の発生・停止
   X線の発生
   X線発生時の防X線カバーの開閉
   X線の停止

 多層膜ミラーへのHeパージ
   Heパージ
   Heパージ終了



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